...有真空吸盤,硅片由機(jī)械手放置于真空吸盤上吸住,通過激光對硅片進(jìn)行定位后就可打印,6個機(jī)頭一次打印6條細(xì)柵線(圖5),交錯打印完所有細(xì)柵線,然后旋轉(zhuǎn)90°,由照相機(jī)監(jiān)測,打印主柵線(圖6),最后在250℃下加熱,完...;
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